在檢測地震時，藉由DynaMon 監診系統在照片範圍內將設備做連結來防止損壞發生。

目的

黃光區中有許多高精密儀器容易因地震遭到破壞。要減輕地震造成設備損壞，最有效的方法是及時將設備緊急停止在安全位置上。然而，要以低成本且精確又不受環境微振信號干擾的方式辨別地震是一項挑戰。

需求

半導體晶圓廠想要在黃光區內配置低成本地震振動監診系統，以便它可以精準地探測地震並及時將設備停止。

策略

要從任何環境微振訊號識別地震都是很困難的。不過，與地震相反的是，環境微振它通常會任意地發生在不同地點及時間。在不同地點配置多個地震儀以探測同時發生的振動訊號會是一個很昂貴的方法。在這種情況下，我們使用三軸向微振低頻響應加速規和DynaMon監測系統代替了地震儀。而這種方法可以在不犧牲精度的情況下達到降低系統成本。

在這種情況下，我們選擇了四個分散的位置來部署微振加速度規。這些加速規通過數10米的電線連接到16通道DynaMon分析儀。

參考CWB公佈的規格，在DynaMon分析儀中預先配置了一個四級的警報開關。每個級別的警報都與不同的組合動作相關，像是廣播、寄送通知信件和簡訊或緊急停機。

DynaMon分析儀透過加速規收集地震訊號，並且計算每個加速規在不同位置的震級(gal, cm/sec2)。一旦兩個或更多的震級高於門檻，DynaMon分析儀就會觸發特定的IO端子來廣播或停機。

在這種情況下，我們採用WebAccess來作SCADA邊緣監控及數據收集。

我們提供用戶觀察即時的震級、詢問震級的長期趨勢和警報消息的歷史。也同意用戶管理廣播系統和遠端操控停機介面。

效益

DynaMon監診系統檢測出地震發生時間，且無因隨機的人為震動而發送錯誤警報。裝設四個點位的DynaMon地震監測系統的費用大約是傳統地震儀的三分之一。此外可以將振動信號轉換為1/3八度音譜，並將它與VC規格進行比較，這個功能僅DynaMon能做到，無法應用於傳統的地震儀中。

TEXOL是誰

TEXOL十年來持續專注於振動與聲音的研究，我們不只提供監診系統給機械的使用者，也提供頻譜分析軟體，與顧問服務給機械製造商。我們提供一站式完整方案，在機器的完整生命週期內，讓它們被設計得更佳、組裝得更好與運作得更有效率。

Aurora是什麼

Aurora是一套有線/無線設備健康狀態監診系統，即時線上監控與報警，達到完美的監診效果。

Aurora系統有幾個主要的特色:

※ 低成本:

一體化的嵌入式系統、邊緣運算與無線架構省下不少建置成本。

※ 監診效果好:

事前定義的基本模型，有效快速的上線策略，並提供專業顧問服務，加速建置進度。

※ 應用範圍廣:

對於大數據分析團隊，MQTT 讓數據交換更開放且簡單。

使用方案

※ 三軸向地震低頻響應IEPE加速度計

※ DynaMon頻譜分析儀

※ WebAccess SCADA

※ 廣播系統